Labor für Mikrosystemtechnik

Das Labor ist als Reinraum ausgelegt, und entsprechend dem Konzept arbeiten die Studenten hier selbst und erlernen das Prozessieren von Halbleitern zur Herstellung von Bauelementen.

Untergliedert ist der Bereich in Lithographie, Halbleiterschichttechnik und Aufbau- und Verbindungstechnik.

Zu finden ist der Reinraum im Jakob-Leupold-Bau mitten in Zwickau am Kornmarkt.

Wir bieten 200 m² Reinraumfläche, enthalten sind eine zentrale Reinstwasserversorgung, zentrale Vakuum-, Druckluft- und Gasversorgung mit Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff und Argon sowie weiteren Prozeßgasen (z.B. SF6, CF4, CHF3, NH3 und Silan).

Für Praktika und industrielle Aufträge steht folgendes Equipment zur Verfügung:

Equipment Lithographie:

• Doppelseitenbelichter
• Sprühentwickler
• Linienbreitenmeßplatz
• Maskenreiniger
• Defektinspektion für Masken
• naßchemische Ätzbänke

Equipment Halbleiterschichttechnik:

• Sputteranlage
• RIE-Ätzer
• Barrelreaktor
• Ofensysteme
• RTP,
• LPCVD
• Ellipsometer
• Spektralphotometer
• Wafergeometriemeßplätze
• Vierspitzen-Meßplatz
• Diffusionstiefenbestimmung

Equipment Aufbau- und Verbindungstechnik:

• Drahtbonder (Ball- und Wedge-Wedge-Systeme)
• Pulltester
• REM
• Wafersäge
• universelles Testsystem für Bauteile und Komponenten

Die im Labor durchgeführten Praktika sind gesondert aufgeführt.