Labor für Mikrosystemtechnik
Das Labor ist als Reinraum ausgelegt, und entsprechend dem Konzept arbeiten die Studenten hier selbst und erlernen das Prozessieren von Halbleitern zur Herstellung von Bauelementen.
Untergliedert ist der Bereich in Lithographie, Halbleiterschichttechnik und Aufbau- und Verbindungstechnik.
Zu finden ist der Reinraum im Jakob-Leupold-Bau mitten in Zwickau am Kornmarkt.
Wir bieten 200 m² Reinraumfläche, enthalten sind eine zentrale Reinstwasserversorgung, zentrale Vakuum-, Druckluft- und Gasversorgung mit Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff und Argon sowie weiteren Prozeßgasen (z.B. SF6, CF4, CHF3, NH3 und Silan).
Für Praktika und industrielle Aufträge steht folgendes Equipment zur Verfügung:
Equipment Lithographie:
- Doppelseitenbelichter
- Sprühentwickler
- Linienbreitenmeßplatz
- Maskenreiniger
- Defektinspektion für Masken
- naßchemische Ätzbänke
Equipment Halbleiterschichttechnik:
- Sputteranlage
- RIE-Ätzer
- Barrelreaktor
- Ofensysteme
- RTP,
- LPCVD
- Ellipsometer
- Spektralphotometer
- Wafergeometriemeßplätze
- Vierspitzen-Meßplatz
- Diffusionstiefenbestimmung
Equipment Aufbau- und Verbindungstechnik:
- Drahtbonder (Ball- und Wedge-Wedge-Systeme)
- Pulltester
- REM
- Wafersäge
- universelles Testsystem für Bauteile und Komponenten
Die im Labor durchgeführten Praktika sind gesondert aufgeführt.
Dekan
Prof. Dr.-Ing. Matthias Würfel
Sekretariat
Britta Melz
+49 375 536 1401
+49 375 536 1403
elektrotechnik[at]fh-zwickau.de
Studienfachberatung
Prof. Dr. Gerhard Temmel
+49 375 536 1452
gerhard.temmel[at]fh-zwickau.de
Besucheradresse
Fakultät Elektrotechnik
Peter-Breuer-Straße 3
08056 Zwickau
Postanschrift
Westsächsische Hochschule Zwickau
Fakultät Elektrotechnik
PSF 201037
08012 Zwickau