Talbot-Distanz und Spaltbreiten-Rechner

Dieses Tool berechnet die Talbot-Distanz für lineare und hexagonale Arrays sowie die maximale Spaltbreite (\( \text{gap}_{\text{max}} \)) für eine vorgegebene Strukturgröße.

Benutzte Formeln:

Talbot-Distanz Näherung: \[ S_T = \frac{2p^2}{\lambda} \] Diese Formel ist eine Näherung und gilt für große Pitch-Werte (\( p \)).
Talbot-Distanz Exakt: \[ S_T = \frac{\lambda}{1 - \cos(\theta)} \] Hierbei gilt: \[ \sin(\theta) = \frac{\lambda}{p} \]
Hexagonaler Pitch: \[ p = \sqrt{3} \cdot \frac{a}{2} \] Der effektive Pitch \( p \) wird aus dem Abstand \( a \) für hexagonale Arrays berechnet.
Maximale Spaltbreite: \[ \text{gap}_{\text{max}} = \frac{s}{3 \cdot \Delta \phi} \] Diese Formel begrenzt die Spaltbreite, um eine gute Kantendefinition zu gewährleisten.

Talbot-Distanz Berechnung

Berechnung der Talbot-Distanz basierend auf dem Pitch \( p \) (linear) oder dem Abstand \( a \) (hexagonal):

Array-Typ: Pitch \( p \) (µm) oder Abstand \( a \) (bei hexagonalem Array): Wellenlänge \( \lambda \) (nm):

Berechnung der maximalen Spaltbreite

Berechnung der maximalen Spaltbreite (\( \text{gap}_{\text{max}} \)) basierend auf der Strukturgröße \( s \) und dem Kollimationswinkel \( \Delta \phi \):

Strukturgröße \( s \) (µm): Kollimationswinkel \( Δφ \) (mrad):