Oberflächen- und Dünnschichttechnik

Schwerpunkte der Arbeitsgebiete:

  • Nanoschichten (ALD)
  • Dünnschichttechnik (PVD, CVD)
  • Abscheidung von Metall-, Hartstoff- und Verbindungsschichten
  • Oberflächenmodifizierung
  • Vakuum-, Plasma- und Elektronenstrahltechnik

Ausstattung der Laboratorien:

  • Magnetronbeschichtungsanlagen,
  • Hohlkatodenbogen-Beschichtungsanlage,
  • Plasma-CVD-Anlage,
  • Elektronenstrahlverdampfer,
  • Mikrowellenplasma-Ätzanlage,
  • Vakuummess- und Prüfeinrichtungen,
  • Mess- und Prüfverfahren zur Schichtcharakterisierung
  • ALD-Anlage
  • Spektral-Elipsometer

Applikationen:

Beratung, Forschung und Entwicklung zu den Schwerpunkten:

  • Verschleißschutz
  • Korrosionsschutz
  • Nanoschichten
  • Dekoration
  • Vakuumverfahren
  • Plasma-und Elektronenstrahlverfahren

Ansprechpartner:

Prof. Dr. S. Braun, Prof. Dr. U. Reinhold

Westsächsische Hochschule Zwickau
Fakultät Physikalische Technik/Informatik
Dr.-Friedrichs-Ring 2a, PF 201037
08012 Zwickau

+49 375 536 1507 / 1508
+49 375 536 1503
stefan.braun[at]fh-zwickau.de
ullrich.reinhold[at]fh-zwickau.de