Betreute Abschlussarbeiten

Datum Referenz Ort
28.03.2013 Christopher Nass. Untersuchung des Belackungsprozesses für Silizium-Träger und dessen Eignung für Laser-Interferenz-Lithografie.
Bachelorarbeit
Helmholtz-Zentrum Berlin
04.07.2013 Steffi Christa Block. Charakterisierung und Pilotversuche zu einem thermoformbaren Resistmaterial für die Nanoreplikation.
Masterarbeit
WHZ
22.01.2014 Andreas Mrotzek. Struktur und optoelektronische Eigenschaften von siliziumreichen SiO2- und Si3N4-Schichten für MOS- und Wellenleiterstrukturen.
Masterarbeit
Helmholtz Zentrum Dresden Rossendorf
22.11.2014 Silvia Hertel. Prozessevaluierung zur Abscheidung von Aluminium aus ionischen Liquiden.
Masterarbeit
Fraunhofer-Institut für elektronische Nanosysteme
24.11.2014 Christopher Nass. Konzepterarbeitung für einen Run-to-Run Controller für Oxid-CMP-Prozesse.
Masterarbeit
X-Fab Dresden GmbH & Co. KG
06.02.2015 Anika Himmler. Nanostrukturierung von PMMA-Folie durch Plasmabehandlung im Rolle - zu - Rolle –Verfahren.
Masterarbeit
Fraunhofer Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl und Plasmatechnik
15.04.2015 Robert Maurer. Untersuchungen der Einflussgrößen auf den Produktfokus sowie auf die notwendige Dosis bei der Strukturierung von Silizium-Leistungshalbleitern.
Bachelorarbeit
Infineon Technologies Dresden GmbH
10.06.2015 Sebastian Spindler. Herstellung und Charakterisierung von Ladungstransportschichten zur Realisierung lichtemittierender Dioden auf Basis von Halbleiternanokristallen.
Masterarbeit
Fraunhofer Institut für elektronische Nanosysteme
24.08.2015 Michael Münnich. Untersuchungen zur Eignung der Ultraschall-Rückstreuung als produktionsbegleitender Prozess zur Qualitätskontrolle randschichtgehärteter Bauteile.
Diplomarbeit
WHZ
14.03.2016 Sebastian Sörgel. Herstellung und Charakterisierung von PDMS- Stempel für das Nanoimprintverfahren. Bachelorarbeit WHZ
27.09.2016 Martin Braun. Elektrische und optische Eigenschaften von dotierten Zinkoxid-Dünnfilmschichten nach Temperung mit spektral modifizierten Blitzlampen.
Masterarbeit
Helmholtz Zentrum Dresden Rossendorf
26.01.2018 Dominik Weber. Optimierung der Prozessstabilität für die Herstellung von nanoskaligen Strukturen durch Laserinterferenzlithographie.
Masterarbeit
WHZ
12.02.2018 Florian Röther. Integration fluoreszierender Stoffe in nanoskalig strukturierte Oberflächen.
Masterarbeit
WHZ