Betreute Abschlussarbeiten

Datum Referenz Ort
28.03.2013 Christopher Nass. Untersuchung des Belackungsprozesses für Silizium-Träger und dessen Eignung für Laser-Interferenz-Lithografie. Bachelorarbeit Helmholtz-Zentrum Berlin
04.07.2013 Steffi Christa Block. Charakterisierung und Pilotversuche zu einem thermoformbaren Resistmaterial für die Nanoreplikation. Masterarbeit WHZ
24.11.2014 Christopher Nass. Konzepterarbeitung für einen Run-to-Run Controller für Oxid-CMP-Prozesse. Masterarbeit X-Fab Dresden GmbH & Co. KG
22.11.2014 Silvia Hertel. Prozessevaluierung zur Abscheidung von Aluminium aus ionischen Liquiden. Masterarbeit Fraunhofer-Institut für elektronische Nanosysteme
22.01.2014 Andreas Mrotzek. Struktur und optoelektronische Eigenschaften von siliziumreichen SiO2- und Si3N4-Schichten für MOS- und Wellenleiterstrukturen.
Masterarbeit
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
06.02.2015 Anika Himmler. Nanostrukturierung von PMMA-Folie durch Plasmabehandlung im Rolle - zu - Rolle –Verfahren.
Masterarbeit
Fraunhofer Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl und Plasmatechnik
15.04.2015 Robert Maurer. Untersuchungen der Einflussgrößen auf den Produktfokus sowie auf die notwendige Dosis bei der Strukturierung von Silizium-Leistungshalbleitern.
Bachelorarbeit
Infineon Technologies Dresden GmbH
10.06.2015 Sebastian Spindler. Herstellung und Charakterisierung von Ladungstransportschichten zur Realisierung lichtemittierender Dioden auf Basis von Halbleiternanokristallen.
Masterarbeit
Fraunhofer Institut für elektronische Nanosysteme
24.08.2015 Michael Münnich. Untersuchungen zur Eignung der Ultraschall-Rückstreuung als produktionsbegleitender Prozess zur Qualitätskontrolle randschichtgehärteter Bauteile. Diplomarabeit WHZ
28.04.2016 Sebastian Sörgel. Herstellung und Charakterisierung von PDMS- Stempeln für das Nanoimprintverfahren WHZ