Veröffentlichungen, Patente und Konferenzbeiträge

Patente

Marcus Lörgen, Olaf  Mertsch, Arne  Schleunitz, Daniel  Schondelmaier, Ivo  Rudolph, Antje  Mertsch: Mikrodosiersystem mit einem gepulsten Laser. Ref. No: DE102009018021, Year: 04/2009
Daniel Schondelmaier, Karsten Holldack, Ulrich Schade, Ivo Rudolph, Gerald Staats: Near field optics for electromagnetic radiation in the infrared spectrum. Ref. No: EP1712892B1, Year: 04/2006
Jan Morenzin, Daniel Schondelmaier: MARKER DEVICE AND METHOD FOR READING SAID MARKER DEVICE. Ref. No: WO002003001446, Year: 06/2002
Daniel Schondelmaier, Wolfgang Eberhardt: METHOD FOR PHOTOCHEMICALLY STRUCTURING SURFACES AND ARTICLES STRUCTURED BY SAID METHOD. Ref. No: WO002002001297, Year: 06/2001
Wolfgang Eberhardt, Jan Morenzin, Daniel Schondelmaier: Method for producing a marking device and apparatus for carrying out said method. Ref. No: WO2001063553, Year: 01/2001

Veröffentlichungen

Alexander Strobel, David Tröger, Steffi Proschwitz, Dirk Hildebrand, Daniel Schondelmaier, Felix R. P. Limberg, Hartmut Krüger: High-periodicity nanostructures on a thermally cross-linkable copolymer. Applied Physics A 10/2016; 122(10)., DOI:10.1007/s00339-016-0413-0
C.M. Günther, B. Pfau, R. Mitzner, B. Siemer, H. Roling, H. Zacharias, O. Kutz, I. Rudolph, D. Schondelmaier, R. Treusch, S. Eisebitt, S. Roling: Sequential Femtosecond X-Ray Imaging. Nature Photonics 01/2011; 5(2)., DOI:10.1038/nphoton.2010.287
Olaf Mertsch, Daniel Schondelmaier, Ivo Rudolph, Oliver Kutz, Antje D. Walter, Arne Schleunitz, Josef Kouba, Christoph Waberski, Bernd Loechel: Generation and Characterization of Super-Hydrophobic Micro and Nano-structured Surfaces. Journal of Adhesion Science and Technology 10/2008; 22(15):1967-1983., DOI:10.1163/156856108X327648
Rainer Engelke, Josef Mathuni, Gisela Ahrens, Gabi Gruetzner, Martin Bednarzik, Daniel Schondelmaier, Bernd Loechel: Investigations of SU-8 removal from metallic high aspect ratio microstructures with a novel plasma technique. Microsystem Technologies 10/2008; 14(9):1607-1612., DOI:10.1007/s00542-007-0537-4
Matthias Schirmer, Doris Perseke, Eva Zena, Daniel Schondelmaier, Ivo Rudolph, Bernd Loechel: A new removable resist for high aspect ratio applications. Microsystem Technologies 02/2007; 13(3):335-338., DOI:10.1007/s00542-006-0189-9
G. Staats, L. Fernandez, K. Holldack, U. Schade, D. Schondelmaier: Coupling structures for terahertz near-field microspectroscopy. Infrared Physics & Technology 09/2006; 49(1):122-127., DOI:10.1016/j.infrared.2006.01.025
L. Hahn, P. Meyer, K. Bade, H. Hein, J. Schulz, B. Löchel, H.U. Scheunemann, D. Schondelmaier, L. Singleton: MODULIGA: The LIGA process as a modular production method-current standardization status in Germany. Microsystem Technologies 04/2005; 11(4):240-245., DOI:10.1007/s00542-004-0368-5
Heinz-Ulrich Scheunemann, Bernd Loechel, Linke Jian, Daniel Schondelmaier, Yohannes M. Desta, Jost Goettert: Cost effective masks for deep X-ray lithography. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 04/2003; 5116:775-781., DOI:10.1117/12.498986
Daniel. Schondelmaier: Herstellung und Charakterisierung von gekoppelten IrMn/CoFe Schichtsystemen /. 
D. Schondelmaier, S. Cramm, R. Klingeler, W. Eberhardt: Orientation and Self-Assembly of Hydrophobic Fluoroalkylsilanes. Langmuir 08/2002; 18(16)., DOI:10.1021/la0256533

Poster

S. Proschwitz, R. Heimburger, D. Tröger and D. Schondelmaier Thermal imprint of fluorescent nanoparticles Forschungsforum Mobilität, Zwickau, Germany, 06/2015
D. Tröger, S. Proschwitz, D. Schondelmaier Assembly of a Laser-Interference-Lithography with Lloyd-Mirror-Interferometer Forschungsforum Mobilität, Zwickau, Germany, 06/2015
Steffi Proschwitz, Robert Heimburger, David Tröger and Daniel Schondelmaier. Thermal imprint of fluorescent nanoparticles. In 10th Nanofair, Dresden, Germany, 07/2014.

Konferenzbeiträge

M.Loergen, B.Loechel, D.Schondelmaier, Ch.Waberski, St.Quiram, I.Rudolph, H.-U.Scheunemann: Six Inch X-Ray Mask Process for Cost Effective LIGA Products. COMS 2009, Copenhagen; 08/2009
O.Mertsch, D.Schondelmaier, M.Loergen, A.Walter, I.Rudolph, O.Kutz, B.Loechel: Nano-structured ultra-hydrophobic surfaces for fresh fruit packaging. COMS 2008, Puerto Vallarta; 08/2008
A.Schleunitz, E.Piechotka, F.Reuter, D.Schondelmaier, B.Loechel: Initiating a Supplier Alliance for Nanoimprint Lithography (NIL) and Nanoembossing. COMS 2008, Puerto Vallarta; 08/2008
B. Löchel, D.Schondelmaier, M.Loergen, Ch.Waberski, I.Rudolph, J.Beuerle, F.Dawan, J.Goettert, Y.Jin, V.Singh: The X-ray Mask - a Cornerstone in Commercializing LIGA. COMS 2008, Puerto Vallarta; 08/2008
B. Löchel, D.Schondelmaier, M.Loergen, Ch.Waberski, I.Rudolph, J.Beuerle, F.Dawan, J.Goettert, Y.Jin, V.Singh: The X-ray Mask - a Cornerstone in Commercializing LIGA. COMS 2008, Puerto Vallarta; 08/2008
A.Walter, O.Mertsch, A.Schleunitz, J.Kouba, W.Eberhardt, D.Schondelmaier, B.Loechel: Neue Wege zur optischen Analyse entfalteter DNA-Moleküle. Dresdner Sensor Symposium, Dresden; 12/2007
O.Mertsch, D.Schondelmaier, A.Walter, I.Rudolph, B.Loechel: Ultrahydrophobe Oberflächen für auf Tropfenanalytik basierende Biochipsysteme. Dresdner Sensor Symposium, Dresden; 12/2007
Bernd Loechel, Martin  Bednarzik, Christoph  Waberski, Ivo  Rudolph, Oliver  Kutz, Sebastian  Mucha, Daniel  Schondelmaier, Heinz-Ulrich  Scheunemann: Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis. MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007, Dresden; 10/2007
Arne Schleunitz, Josef  Kouba, Ivo  Rudolph, Daniel  Schondelmaier, Bernd  Löchel: Galvanische Abformung von mikro- und nanostrukturiertem Silizium für die Herstellung metallischer Formwerkzeuge. MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007, Dresden; 10/2007
Rainer Engelke, Josef  Mathuni, Gisela  Ahrens, Gabi  Grützner, Martin  Bednarzik, Daniel  Schondelmaier, Bernd  Löchel, Martin  Gutsche, Marco  Cuccinelli: Untersuchung eines neuen hochproduktiven Plasmaverfahrens zum Entfernen von SU 8 nach der Abformung metallischer LIGA-Mikroteile. MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007, Dresden; 10/2007
Olaf Mertsch, Daniel  Schondelmaier, Antje D.  Walter, Ivo  Rudolph, Bernd  Löchel: Electro Wetting - Transport von Mikrotropfen auf lithographisch hergestellten, ultra-hydrophoben Oberflächen. MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007, Dresden; 10/2007
O.Mertsch, A.Walter, I.Rudolph, D.Schondelmaier, B.Loechel: Ultra hydrophobic and nano porous plant like surfaces fabricated by UV reverse side exposure. µTAS 2007, Paris; 10/2007
O.Mertsch, A.Schleunitz, D.Walter, I.Rudolph, D.Schondelmaier, B.Loechel: Diffraction supported creation of artificialultra-hydrophobic micro and nano structures. MNE 2007, Copenhagen; 09/2007
A.Schleunitz, J.Kouba, D.Schondelmaier, B.Loechel: Functional Polymer Structures at the Micro- and Nanometer Level Fabricated with Silicon Stamps and Nanoimprint Technique. MNE 2007, Copenhagen; 09/2007
D.Schondelmaier, J.Kouba, A.Walter, A.Schleunitz, I.Rudolph, B.Loechel: Molding Tools for Micro and Nanoscale Applications. COMS 2007, Melbourne; 09/2007
A.Walter, O.Mertsch, A.Schleunitz, J.Kouba, W.Eberhardt, D.Schondelmaier, B.Loechel: New Approach for DNA Analysis in a Single Molecule System. COMS 2007, Melbourne; 09/2007
A.Walter, O.Mertsch, C.Köhler, H.Adamzig, L.Hausdorf, M.Klocke, A.Froehling, S.Klocke, O.Schlueter, D.Schondelmaier, B.Loechel: Contamination control of Agricultural Products by on-Chip PCR and flow Cytometry. COMS 2007, Melbourne; 09/2007
O.Mertsch, A.Walter, I.Rudolph, D.Schondelmaier, B.Loechel: Fabrication of ultra-hydrophobic and nano-porous high aspect ratio micro structures for the application in Bio-Chips and MEMS. HARMST 2007, Besancon; 06/2007
M.Schirmer, D.Perseke, D.Schondelmaier, I.Rudolph, B.Loechel: Fabrication of X-ray Masks in a Two-step Process Using CAR 44 Photo Resist. HARMST 2007, Besancon; 06/2007
O. Mertsch, A.D. Walter, B. Loechel, D. Schondelmaier: Lithographic fabricated ultra hydrophobic and porous plant-like surfaces for bio chip applications. NSTI Nanotech, Santa Clara; 05/2007
Josef Kouba, Daniel  Schondelmaier, Ivo  Rudolph, Antje  Walter, Arne  Schleunitz, Greta  Ropers, Alexander  Mai, Bernd  Loechel: Formwerkzeuge für Anwendungen von Mikro bis Nano. Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop, Karlsruhe; 05/2007
Daniel Schondelmaier, Arne Schleunitz, Josef  Kouba, Bernd Löchel: Herstellung von polymeren Permanentstrukturen durch Nanoimprint. Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop, Karlsruhe; 05/2007
D.Schondelmaier, B.Loechel, S.Krüger, S.Altwasser: Mircofabrication of Diffractive Optical Elements. COMS 2006, St. Petersburg, Florida; 08/2006
J.Kouba, D.Schondelmaier, U.Schade, I.Rudolph, M.Bednarzik, W.Eberhardt, B.Loechel: Metallic Photonic Crystal for THz-Radiation. SPIE Photonics Europe 2006, Strasbourg; 04/2006
N.Beisser, D.Schondelmaier, I.Rudolph, J.Kouba, B.Loechel: Determination of the mechanical properties of electroplated metals. HARMST 2005, Gyeongju, Korea; 06/2005
M. Bednarzik, H.-U. Scheunemann, A. Barth, D. Schondelmaier, B. Loechel: First results in patterning of ultra high aspect ratio microstructures by a 4T wave length shifter at BESSY. MEMS, NANO and Smart Systems, 2003. Proceedings. International Conference on; 08/2003, DOI:10.1109/ICMENS.2003.1221989
L.Hahn, P.Meyer, K.Bade, H.Hein, J.Schulz, B.Loechel, H.-U.Scheunemann, D.Schondelmaier, L.Singleton: MODULIGA: The LIGA Process as a Modular Production Method - Current Standardization State of the LIGA Process in Germany. HARMST 2003, Monterey; 06/2003
H.-U.Scheunemann, A.Barth, A.Firsov, H.Koehrich, D.Schondelmaier, L.Jian, B.Loechel: Fabrication of Extreme High Micro Patterns by Using the BESSY 4T Wave Length Shifter. HARMST 2003, Monterey; 06/2003
Linke Jian, Martin Bednarzik, Heinz-Ulrich Scheunemann, Daniel Schondelmaier, Ingrid Wichert, Alexandre Firsov, Ivo Rudolph, Bernd Löchel: Improvement of Cost-Effective X-ray Mask Fabrication. HARMST 2003, Monterey; 05/2003
P.Meyer, L.Hahn, K.Bade, H.hein, J.Schulz, B.Loechel, H.-U.Scheunemann, D.Schondelmaier, L.Singleton: MODULIGA: The LIGA Process as a Modular Production Method - Current Standardisation State of the LIGA Process in Germany. SPIE 2002, Boston; 01/2003
H.-U.Scheunemann, B.Loechel, L.Jian, D.Schondelmaier, J.Goettert, Y.Desta, Z.Ling, T.Morris, J.Joonyoung, V.Singh, R.Degen, U.Kirsch, G.Gruetzner, R.Ruhmann, G.Ahrens: Providing a Direct-LIGA Service - A Status Report. COMS 2002, Ypsilanti; 09/2002

Vorträge

Daniel Schondelmaier Laser Interferenz Lithographie am Nanolab der WHZ, 4. Forschungsforum Mobilität, Zwickau, Germany, 11/2016
Daniel Schondelmaier Das Nanolab an der WHZ, Gästevortrag für das IPHT Jena, Zwickau, Germany, 04/2016
Daniel Schondelmaier. Nanoreplikation mit Roll2Roll. In elmug4future Technologiekonferenz, Friedrichsroda, Germany, 06/2015.
Steffi Proschwitz, David Tröger, Daniel Schondelmaier. Applications of thermal nano imprint lithography. In Chemnitzer Seminar „System Integration Technologies“, Chemnitz, Germany, 06/2015.
Daniel Schondelmaier. Aufbau des Nanolab Zwickau – Aktuelle Forschungsschwerpunkte und die Dienstleistungsmöglichkeiten in der Mikro- und Nanotechnologie. In 15. Industriegespräch Chemnitz/Jena des Arbeitskreises für Industrie und Wirtschaft der DPG, Chemnitz, Germany, 12/2014.
Jeannette Grüning, Robert Heimburger, Steffi Proschwitz, Daniel Schondelmaier and Silke Mücklich. Anodized aluminum as a mold for nanostructured anti-reflection coatings. In 10th Nanofair, Dresden, Germany, 07/2014.
Steffi Proschwitz, Daniel Schondelmaier. Charakterisierung eines thermoformbaren Resistmaterials für die Nanoimprint-Lithographie. In 15. Nachwuchswissenschaftler-Konferenz, Magdeburg, Germany, 04/2014.